等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī),或者等離子表面處理儀,等離子處理機(jī),等離子清洗機(jī)應(yīng)用于材料結(jié)合或**改變材料表面屬性,真空等離子清洗機(jī)能對表面精密清洗,激活,蝕刻,涂層等,適用于表面復(fù)雜件,批量及在線處理
GDR-plasma真空等離子體清洗機(jī)
一、 設(shè)備名稱:等離子清洗機(jī)(低壓輝光放電等離子表面處理系統(tǒng))
二、 設(shè)備型號:GDR-PLASMA
等離子體清洗機(jī)設(shè)備簡介
GDR系列低溫等離子表面處理設(shè)備由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是在真空狀態(tài)下,等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空達(dá)到30-40pa 的真空度,再在高頻發(fā)生器作用下,將氣體進(jìn)行電離,形成等離子體(物質(zhì)第四態(tài)),其顯著的特點是高均勻性輝光放電,根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的彩色可見光,材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發(fā)生作用,得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

等離子清洗機(jī),等離子處理機(jī)優(yōu)點:
1.環(huán)保技術(shù):等離子體清洗機(jī)的處理過程是氣- 固相干式反應(yīng) ,不消耗水資源、無需添加化學(xué)藥劑,對環(huán)境無污染。
2.廣適性:等離子清洗機(jī)不分處理對象的基材類型,均可進(jìn)行處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料都能很好地處理;
3.溫度低:等離子清洗機(jī)接近常溫,特別適于高分子材料,比電暈和火焰方法有較長保存時間和較高表面張力。
4.功能強(qiáng):等離子清洗機(jī)僅涉及高分子材料淺表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同時,賦予其一種或多種新的功能;
5.低成本:裝置簡單,易操作維修,可連續(xù)運行,往往幾瓶氣體就可以代替數(shù)千公斤清洗液,因此清洗成本會大大低于濕法清洗。
6.等離子清洗機(jī)處理全過程可控工藝:所有參數(shù)可由電腦設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄,進(jìn)行工藝質(zhì)量控制。
7.等離子清洗機(jī)處理物幾何形狀無限制:大或小,簡單或復(fù)雜,部件或紡織品,均可處理。
8、等離子清洗機(jī)用于攝像頭、指紋識別行業(yè):軟硬結(jié)合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清潔;
9、等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體IC領(lǐng)域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗 ;
10、等離子清洗機(jī)用于硅膠、塑膠、聚合體表面粗化、刻蝕、活化。